一、性能（为空载时、水冷式室温为25度时）

1

内箱尺寸

1465*1685*630mm（W*H*Dmm）

2

外箱尺寸

2400*2250*1200（W*H*Dmm）

3

标称内容积

1550L

4

重量

600KG

3

温度范围

0℃→+120℃

6

升温时间（空载）

25℃→+120℃，升温时间30min

7

降温时间（空载）

25℃→0℃，降温时间30min

4

温度控制稳定性

±0.5℃

5

温度分布偏差

±0.2℃

6

湿度显示范围

20-98%RH(不带控制)

7

湿度波动范围

±2.5%

8

满载温度均匀度

腔体内满载环境温度均匀度离开基板2公分9点分布±3℃（10℃～80℃）

9

满载最大发热负载

81*100=8100w

10

产品满载状态

设备腔体环境温度30°以下

二、电脑系统

1

处理器

i7-14代

2

RAM内存

≥16GB

3

HDD硬盘

≥1T

4

系统

win10

5

软件

配备基本操作办公软件，包括office办公软件、解压软件等

6

工控机

研华或同等级品牌；（工控机蓝屏，死机不可有，数据存储不允许数据无故丢失）

7

通讯功能

具备SECE/GEM通讯功能

8

MES系统

可以下载上个工站作业信息，上传本工站作业信息；

机台可通过FTP协议与MES数据互通，进行map文档下抛和作业log上传

9

TCP/IP协议

用户提供的网络硬件&软件兼容

10

数据Log保存

机台Log需要保存设备运行，系统状态，报警，接口状态，产品流片日志，操作日志，

参数修改记录日志，根据现场需求增加，便于后续异常排查

三、气体真空要求

1

主管径

x9≥12mm

2

主管压力

-90kap

3

工位管路

≥6mm

四、供电规格

1

供电方式

S-2000

2

单个工位输入功率

≥100w

3

电压范围

12v

4

单个工位供电线束

20AWG-6PIN-12V

5

单个工位信号线束

9AWG-2PIN

6

控制板线束接口连接器

X3025HM-2x03-N2

7

回流排端接口连接器

X3025TF-PSN

8

汇流排

按照产品要求匹配

五、供水规格

1

进水口

Φ50mm

2

出水口

Φ50mm

3

流量温度

20°±2时10m³/h

六、散热治具

1

工位数量

81

2

单个工位组成

热沉+真空载台+真空吸附片+真空气管

3

单个工位作业数量

18个（以4021BDB01 为2*9=18颗一板设计）

4

工位标签

数字标签、二维码

5

控制要求

①. 每个工位的真空需独立，由单个电磁阀独立控制。

可由软件操作界面完成真空的打开与关闭。

② 当低于设定真空压力阈值时，设备报警提示且切断载台对应控制电源

③ 可以单独屏蔽异常工位真空报警

6

治具设计要求

参考附件

七、操作界面

1

显示信息

界面显示当前测试工位工作状态，闲置状态，异常状态

界面可以显示真空吸附状态、作业时间等基本工位信息

2

时间设置

工作时间设置可以批量选择控制或单个工位独立控制。

时间设定具有定时功能（定时上电、定时关电）

3

操作设置

批量选择控制或单个工位独立控制

批量选择工位进行真空开启&关闭（定时上电or定时断电）

4

报警提示

根据设定的真空阈值判断产品是否工作正常，异常则提示报警

5

操作设置

a. 可以批量选择或单个选择对应工位进行真空开启&关闭
b. 可以批量选择或单个选择对应工位进行计时设定（定时上电or定时断电）
c. 参考人员作业SOP流程，合理规划分布按键：真空开关、计时设置、上电、下电（可以实际操作沟通）
d. 机台软件具备一键复位，所有点位支持一键复制

6

权限等级

操作员权限：正常上下料，开启真空，定时操作，上电等
技术员权限：屏蔽工位，设定报警阈值等
工程师权限：最高权限，可以编辑全部

7

Log记录

设备运行log，参数修改log，报警log要求存储3年及3年以上

因设备突然断电，人员误操作导致数据中断，二次上次数据需建立新的log文件（原数据log保存）